Рентгеновский толщиномер  Bowman с  фокусирующей оптикой W серия

Рентгеновская оптика 7,5 мкм- самый маленький размер фокусировки луча в мире.

Рентгенофлуоресцентный анализатор W серии использует поликапиллярную оптику для фокусировки рентгеновского луча на площади в 7.5 мкм. Это самый маленький в мире размер луча для анализа толщины покрытия с использованием рентгенофлуоресцентной технологии. Видео камера с 150х кратным увеличением используется для измерения областей в этом диапазоне; анализатор имеет вторую камеру с меньшим увеличением для просмотра живого изображения и визуализации макроскопических изображений. Система Dual-Camera от Bowman позволяет операторам видеть всю деталь, выбирать изображение для увеличения с помощью камеры с большим увеличением и точно определять область, которую нужно запрограммировать и измерить.

Программируемый моторизированны предметный столик XY с точностью позиционирования  +/- 1 мкм для каждой оси позволяет точно определять положение для измерения нескольких точек; Программное обеспечение распознавания образов Bowman и функции автоматической фокусировки также позволяют делать это автоматически. Возможность построения 3D модели поверхности позволяет получить топографию покрытия, например на полупроводниковой пластине.

Стандартная конфигурация приборов серии W включает оптику 7.5 мкм с рентгеновской трубкой с Мо анодом (аноды хром и вольфрам - опционально) и силиконовый дрейфовый SDD детектор высокого разрешения, который обрабатывает более 2 миллионов импульсов в секунду.

  • Неразрушающий контроль толщины многослойных покрытий на любых основаниях на площадь в 7,5 мкм

      - Исследование тонких пленок, полупроводниковых пластин, выводных рамок

       - Измерение толщины тонких проводящих и/или разделительных слоев печатных          плат

      - Исследование покрытий компонентов, в том числе на образцах микронного                    размера 

      - Измерение толщины любых металлических покрытий 

  • Анализ химического состава

      - Анализ покрытий в сфере производства электронных изделий и                                       полупроводниковых приборов

      - Определение состава металла до покрытия

       - Анализ химического состава других материалов в лаборатории с низким                        пределом обнаружения

  • Анализ растворов

 

Описание

Серия W - это 7-ая модель в линейке рентгенофлуоресцентых анализаторов Bowman. Как и другие приборы, он одновременно измеряет до 5-ти слоев покрытия и использует усовершенствованное программное обеспечение Xralizer для количественной оценки толщины покрытия. Программное обеспечение Xralizer сочетает в себе интуитивно понятный визуальный контроль с быстрой обработкой команд, расширенные возможности поиска результатов и печать отчетов одним щелчком мыши. Программное обеспечение также позволяет пользователям создавать новые  приложения.

Анализаторы серии W специально разработаны для неразрушающего контроля толщины тонких пленок, анализа химического состава с низким пределом обнаружения на небольших образцах, тонкой проволоки или при точечном анализе покрытия.  Построение 3D модели покрытия с шагом 7,5 мкм - непревзойденный уровень контроля качества.

• Поликапиллярная оптика увеличивает в более чем 100 раз плотность рентгеновского луча по сравнению с коллиматором на таком же расстоянии от источника
• Это обеспечивает наилучшую точность при кратчайшем времени анализа с небольшим размером измерительного пятна

АНАЛИЗ ТОНКИХ ПЛЕНОК И СВЕРХМАЛЫХ ОБРАЗЦОВ

•  Измерение на небольших образцах с невероятной точностью и минимальной погрешностью
• Плотность флюоресцентного потока до 5 раз больше по сравнению с коллиматором
• Большое входное окно SDD детектора
• Предназначен для анализа ENIG, ENEPIG и химически осажденный покрытий

• Измерение содержания P с покрытии

ПРЕИМУЩЕСТВА КАПИЛЛЯРНОЙ ОПТИКИ

Технические характеристики

Диапазон определяемых элементов                                       от Al до U

Трубка                                                                                           50 Вт Mo анод Целевая капиллярная оптика Flex-Beam @7.5 FWHM
                                                                                                        Дополнительно: Cr или W

Детектор                                                                                       SDD детектор, разрешение 135 кэВ или выше 

Количество анализируемых слоев                                          5 слоев, до 10 элементов в каждом слое

Анализ химического состава                                                    до 25 элементов одновременно   

Фильтры/коллиматоры                                                              4 фильтра/ 4 коллиматора, моторизированная смена

Фокальное расстояние                                                              0,5 мм, лазерная фокусировка

Перемещение по оси Z                                                               130 мм

Видео камера                                                                               1/4" CMOS- 1280x720 Писк разрешение

Увеличение                                                                                   150X с микро-камерой на экране 20 "(до цифрового увеличения 600x)
                                                                                                        10 ~ 20X с камерой макросъемки

Моторизированный измерительный столик                          XYZ перемещение: 300 мм x 400 мм x 100 мм
                                                                                                        XY стол: 305 мм x 406 мм 
                                                                                                        Точность перемещения оси X: 1 мкм;
                                                                                                        Точность оси Y: 1 мкм
                                                                                                        Точность оси Z: 1 мкм 

Размеры измерительной камеры                                             Высота 100 мм, Ширина 735 мм, Глубина 914мм

Габаритные размеры                                                                  Высота 787 мм, Ширина 940 мм, Глубина 990 мм

Вес                                                                                                  190 кг

Узнайте, какой анализатор подойдет для решения ваших задач. Заполните прилагаемый опросный лист и вышлите нам info@elementno.com

 

© 2019 Element No